TSST, ontwikkelaar en producent van depositie-apparatuur voor universitaire onderzoekscentra, heeft een vacuümtransferlijn ontwikkeld. Onderzoekers die nieuwe materialen willen opbouwen door het deponeren van dunne lagen, kunnen er verschillende depositie-apparaten op aansluiten. Dat geeft hun meer mogelijkheden om ‘slimme’ en energiezuinige materialen te ontwikkelen. Met het nieuwe product profileert TSST zich als een systeemintegrator voor depositieprocessen. Het is groot geworden met PLD (Pulsed Laser Deposition) voor de onderzoekswereld en richt zijn blik nu ook op de industrie. Daarvoor ontwikkelt het een apparaat voor ALD (Atomic Layer Deposition), dat onder meer wordt gebruikt in de productie van halfgeleiders en zonnecellen en ook biomedische toepassingen kent. Het bedrijf beschikt over de benodigde technologische en financiële slagkracht doordat het onlangs volledig is overgenomen door technologieontwikkelaar en -producent Demcon; het opereert nu onder de naam Demcon TSST.
TSST startte in 1998 als spin-off van onderzoeksgroep Inorganic Materials Science (IMS) en onderzoeksinstituut MESA+ van Universiteit Twente (UT) om depositie-apparatuur te bouwen voor universitaire onderzoekscentra wereldwijd. Het bedrijf is gespecialiseerd in een geavanceerde depositietechniek, Pulsed Laser Deposition (PLD). Deze techniek is geschikt om dunne lagen (films) van de hoogste kwaliteit te maken, maar is moeilijk op te schalen. Om deze reden leent de techniek zich nog lastig voor industrialisatie en wordt die vooral gebruikt door onderzoekers. Zij ontwikkelen nieuwe, complexe materialen met de nadruk op functionaliteit en energie-efficiency. Deze materialen zijn bijvoorbeeld bedoeld voor ultra-efficiënte elektronica of optica, zoals micro-batterijen geïntegreerd in chips, en andere hoogwaardige toepassingen.
Slagkracht
In 2015 zette TSST na lang pionieren op de UT-campus de stap naar verdere professionalisering door zijn intrek te nemen in het Enschedese hoofdkantoor van Demcon. Daar werd TSST deelnemer aan het Incubate-programma, waarin Demcon aan startende en doorgroeiende bedrijven ontwerpondersteuning, huisvesting, lab- en productiefaciliteiten, aanvullende diensten en financiering kan bieden. Drie jaar later nam Demcon een meerderheidsaandeel in TSST en vorig jaar werd het volledig eigenaar. Sindsdien is TSST als zelfstandige onderneming onderdeel van de Demcon group en heet het Demcon TSST. Het bedrijf levert nu nog vooral PLD-systemen en daarop aansluitende modules en componenten. Onder de vleugels van Demcon beschikt het echter over de technologische en financiële slagkracht om ook nieuwe markten te ontginnen en compleet nieuwe producten te ontwikkelen, verklaart managing director Emiel Rutgers. “Daarbij blijven we samenwerken met de onderzoekers van IMS en MESA+ aan de UT; die samenwerking is erg waardevol voor ons en onze klanten.”
Systeemintegrator
Demcon TSST heeft onlangs een vacuümtransferlijn gelanceerd waarop verschillende depositie-apparaten met elk hun eigen proces kunnen worden aangesloten. Het is een transportsysteem waarin samples van de ene proceskamer naar de andere worden overgebracht onder hoog vacuüm, licht Rutgers toe. “Dat voorkomt contaminatie van het materiaal en daardoor kwaliteits- of functieverlies van het sample. In sommige gevallen is het essentieel dat een sample niet wordt blootgesteld aan atmosferische omstandigheden. We hebben steeds meer klanten die verschillende depositietechnieken willen gebruiken voor het maken van ingewikkelde materialen met verschillende lagen, om nieuwe eigenschappen te kunnen ontwikkelen. Met deze transferlijn spelen we in op die behoefte en positioneren wij ons als een systeemintegrator voor depositietechnologie.”
Naar de industrie
Op de nieuwe transferlijn kunnen gebruikers depositieprocessen aansluiten van Demcon TSST en andere leveranciers, vertelt Rutgers. “Wij leveren naast PLD-systemen onder meer ook sputterapparatuur en zijn nu nog een ander depositieproces aan het ontwikkelen.” Dit betreft ALD (Atomic Layer Deposition), dat werkt met een chemisch proces in plaats van een laser zoals bij PLD. ALD is veel beter geschikt voor opschaling en daarmee voor industriële productie. Het vindt in de industrie al toepassing in de halfgeleider-, batterij- en zonnecelproductie. Interessant is ook de inzet van ALD voor het maken van oppervlakken die biocompatibel zijn en daardoor geschikt voor bijvoorbeeld implantaten. “Wij gebruiken nu onze expertise van depositietechnologie om een apparaat voor ALD te ontwikkelen. Dat hopen we later dit jaar te introduceren om nieuwe markten te kunnen bedienen. Het past in onze ambitie om de komende jaren in omzet te verdubbelen.”
Expertise en impact
Dennis Schipper, CEO van Demcon, onderschrijft de ambities van Rutgers. “Nu wij volledig eigenaar zijn van TSST, kunnen we hen beter ondersteunen bij het investeren in nieuwe markten en technologieën. Met PLD zitten ze in een nichemarkt, terwijl ze met de nieuwe transferlijn hun aanbod verbreden en met ALD een nog grotere markt kunnen bestrijken. Daarmee sluiten ze aan bij de expertise en ambities van de Demcon group. Wij zijn al actief op het gebied van dunnefilmtechnologie, waar we onderzoekers helpen bij het optimaliseren van hun proces en het opschalen van laboratorium naar industriële productie. Uiteindelijk willen we maatschappelijke impact maken, onder meer in de energietransitie en de biomedische markt. Daar kan TSST met PLD en zeker ook ALD aan bijdragen.”
